技術(shù)指標(biāo)

射頻發(fā)生器
1. 電路類(lèi)型：電感反饋式自激振蕩電路，同軸電纜輸出，匹配調(diào)諧，功率反饋閉環(huán)自動(dòng)控制。
2. 工作頻率：40MHz±0.05％
3. 頻率穩(wěn)定性：＜0.1% 
4. 輸出功率：800W—1200W
5. 輸出功率穩(wěn)定性：＜0.3%
6. 電磁場(chǎng)泄漏輻射強(qiáng)度：距機(jī)箱30cm處電場(chǎng)強(qiáng)度E：＜2V/m
進(jìn)樣裝置
1. 輸出工作線(xiàn)圈內(nèi)徑25mm，3匝
2. 矩管：三同心型，外徑20mm的石英矩管
3. 同軸型噴霧器外徑6mm 
4. 雙筒形霧室外徑34mm 
5. 氬氣流量計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格：
6. 等離子氣流量計(jì)（100-1000）L/h （1.6-16L/min）
7. 輔助氣流量計(jì)（10-100）L/h （0.16-1.66L/min）
8. 載氣流量計(jì)（10-100）L/h （0.16-1.66L/min）
9. 載氣穩(wěn)壓閥（0-0.4MPa）
10. 冷卻水：水溫：15-25℃  流量>5L/min 
11. 水壓>0.1MPa  冷卻水：電阻率>1MΩ
分光器
1． 光路： Czerny-Turner mounting
2． 焦距： 1000 mm
3． 光柵規(guī)格： 離子刻蝕全息光柵，
　　刻線(xiàn)密度3600線(xiàn)/mm，
　　刻線(xiàn)面積（80×110） mm 
 （可選用刻線(xiàn)密度2400線(xiàn)/mm，刻線(xiàn)面積：80×110mm
4． 線(xiàn)色散率倒數(shù)：0.26nm/mm
5．分辨率： ≤ 0.008nm  
6. 掃描波長(zhǎng)范圍：
　　3600線(xiàn)/mm掃描波長(zhǎng)范圍：195—500 nm  
　　2400線(xiàn)/mm掃描波長(zhǎng)范圍：195—800 nm   
7． 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)zui小步距: 0.0006 nm   
8． 出射、入射狹縫：20μm 
9. 反射鏡規(guī)格： （78×105×16）mm 
10． 透鏡φ30，1：1成像 
11． 分光器恒溫裝置：32℃±1℃  
光電轉(zhuǎn)換裝置
1. 光電倍增管規(guī)格：R212UH或R928
2. 光電倍增管負(fù)高壓：200-1000V 穩(wěn)定性<0.05％
3. 光電倍增管電流測(cè)量范圍：1nA~100μA
4. 信號(hào)采集為v/F交換：1mV對(duì)應(yīng)100Hz